| 產(chǎn)品名稱 | · 1100℃雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐 |
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| 產(chǎn)品提示 | 1.多種配件可選提示 2.科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> ? 3.配件妥善保管提示 |
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| 主要特點(diǎn) | · 雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內(nèi)管直徑80mm. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)。（見(jiàn)下圖） · 兩根爐管上安裝有真空密封法蘭，允許反應(yīng)氣體在兩個(gè)管（10mm間距）之間流動(dòng)，惰性氣體在管內(nèi)流動(dòng)以進(jìn)行冷卻。 · 搭載由多通道流量控制系統(tǒng)和真空泵共同組成的CVD系統(tǒng)。 · 爐子的底部安裝有一對(duì)滑軌，可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動(dòng)到另一側(cè)，以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。 · 包含一個(gè)止滑夾，用于固定爐子的位置。 · 最高溫度可達(dá)1100℃。 · 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度。 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 · 開(kāi)門(mén)斷電，提高實(shí)驗(yàn)安全性。 |
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| 基本參數(shù) | · 最高溫度: 1100℃（≤30min） 工作溫度: 1000℃ · 推薦升溫速率:≤10℃/min · 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金 · 電壓：220V · 可根據(jù)需求選擇單溫區(qū)或雙溫區(qū)兩種爐膛。（雙溫區(qū)見(jiàn)下圖） · 加熱爐額定功率：3KW（不包括CVD系統(tǒng)） · 加熱區(qū)：400mm（單溫區(qū)），200mm*2（雙溫區(qū)） |
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| 爐管及滑軌 | · 高純石英管80mm外徑x 1800mm長(zhǎng) · 高純石英管100mm外徑x 1400mm長(zhǎng) · 鍍鉻鋼制成的雙滑軌 |
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| 真空法蘭 | · 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝。 |
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| 多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng) | · 適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。 · 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實(shí)用，操作簡(jiǎn)便。 · 采用觸摸屏來(lái)控制氣體的流量，顯示流量準(zhǔn)確，方便操作。 · 所有儀表及閥門(mén)的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。 · 多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)參數(shù)： · 輸入電壓：AC 220V/50Hz單相 · 功率：23W
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| 真空系統(tǒng) | · 此設(shè)備可根據(jù)需求配置合適的真空泵組。 ·GZK-101低真空機(jī)組： ·工作電電壓：220V，50~60HZ ·功率：1KW ·系統(tǒng)極限真空度：1.0*10-1Pa ·抽氣速率：4.4L/ S
· 103G高真空機(jī)組：
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| 溫控系統(tǒng) | · 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置50段升降溫程序 · 溫控儀表中帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù) · 儀表控溫精度: +/- 1°C |
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| 開(kāi)門(mén)斷電 | · 為保證使用安全，該電爐為開(kāi)門(mén)斷電設(shè)計(jì) |
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| 質(zhì)保期 | · 一年保修，終身技術(shù)支持。 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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應(yīng)用技術(shù)提示 | · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。 · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200sccm，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。 · 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃。 · 降溫時(shí)請(qǐng)利用程序降溫，不建議直接按“STOP”鍵降溫，設(shè)備溫度未降到室溫前不要直接關(guān)掉設(shè)備電源，防止出現(xiàn)安全問(wèn)題。
· 嚴(yán)禁氧氣和氫氣同時(shí)使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請(qǐng)嚴(yán)格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時(shí)，應(yīng)關(guān)閉閥門(mén)。 · 第一次使用，或長(zhǎng)時(shí)間不用再次使用時(shí)，請(qǐng)分別點(diǎn)擊二個(gè)“通道清洗”（清洗通道），將管路內(nèi)有可能存在的污染物或氣體進(jìn)行吹洗。 · 流量計(jì)通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當(dāng)于316L不銹鋼) ,氟橡膠等為易腐蝕材料。通入的氣體應(yīng)無(wú)水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蝕性氣體用戶應(yīng)在定貨時(shí)聲明。 · 不得通氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體，否則容易損壞通氣管道，混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設(shè)備損壞公司售后維修會(huì)收取相應(yīng)的費(fèi)用。 · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應(yīng)采用調(diào)控范圍在0.02—0.25Mpa 的專用氣體減壓閥（YQY-6（氧）、 YQQ-9（氫）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氬氣）等） · 氫氣瓶必須使用專用的減壓器，開(kāi)啟氣瓶時(shí)，操作者應(yīng)站在閥口的側(cè)后方，動(dòng)作要輕緩。 · 氣瓶應(yīng)放置在陰涼通風(fēng)處，避免陽(yáng)光直曬，又能耐火的專門(mén)建筑物或室外，嚴(yán)禁將氣瓶和高溫設(shè)備放在一起。 · 嚴(yán)禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。 · 每只氣瓶最低必須保留0.5 MPa的余壓。 |
警示 | · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。 · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 · 爐管不建議正壓使用，對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 · 滑動(dòng)加熱室即可快速冷卻樣品。 如果要這樣做，請(qǐng)穿戴防護(hù)裝備，例如耐熱服和手套。 加熱時(shí)請(qǐng)勿觸摸管子表面。 · 如需高溫取樣，請(qǐng)務(wù)必穿戴好安全裝置.
· 不要放在不平或有震動(dòng)的產(chǎn)所，否則容易引發(fā)設(shè)備不穩(wěn)而傾倒的危險(xiǎn)。 · 不要將螺釘、墊片等金屬物掉進(jìn)設(shè)備內(nèi)部，否則有使設(shè)備發(fā)生短路或火災(zāi)的危險(xiǎn)。 · 不要放在容易濺上水的場(chǎng)所，水等進(jìn)入產(chǎn)品本體的話，可能引起火災(zāi)、觸電事故。 · 設(shè)備的控制電路部分要進(jìn)行定期檢查（半年檢查一次），對(duì)線路進(jìn)行緊固，若發(fā)現(xiàn)有線路有絕緣層脫落、接線脫落時(shí)應(yīng)及時(shí)處理，否則會(huì)導(dǎo)致設(shè)備短路或發(fā)生火災(zāi)的危險(xiǎn)。 · 必須由具有專業(yè)資格的人員才能更換零件，嚴(yán)禁將線頭或金屬物遺留在設(shè)備內(nèi)，否則有引發(fā)爆炸和發(fā)生火災(zāi)的危險(xiǎn)。 |
可選配件 | · 建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。（請(qǐng)點(diǎn)擊這里學(xué)習(xí)如何安裝減壓閥）。(圖1) · 可選購(gòu)壓力控制模塊來(lái)監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖2) · 可選購(gòu)歐陸儀型溫控儀表，控溫精度可以提升到±0.1℃。(圖3) · 可選購(gòu)石英管堵，提高路管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空。（圖4） · 可選購(gòu)石英舟盛放樣品。（圖5） · 可在本公司購(gòu)買(mǎi)生長(zhǎng)石墨烯的銅箔。（圖6）
圖一 圖二 圖三 圖四 圖五 圖六 |
PC控制(選配） | · 請(qǐng)?jiān)谫?gòu)買(mǎi)爐子前，準(zhǔn)備一臺(tái)電腦。 · 可選購(gòu)MTS-02?控制軟件，可在電腦上顯示和設(shè)定壓力和溫度程序，以達(dá)到遠(yuǎn)程控制。 · 購(gòu)買(mǎi)帶有PC控制的加熱爐，如有疑問(wèn)請(qǐng)聯(lián)系我們的銷(xiāo)售人員。
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真空配件(選配） | · 真空可選配件包括真空泵，波紋管和手動(dòng)擋板閥。
· 對(duì)于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標(biāo)配數(shù)量外可進(jìn)行額外訂購(gòu)。
· 機(jī)械真空計(jì)（作為設(shè)備標(biāo)配），范圍從-0.1到0.15Mpa。 · 可選配防腐型數(shù)顯真空表，測(cè)量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復(fù)性及較短的響應(yīng)時(shí)間外，該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯(cuò)誤從而導(dǎo)致的腔室爆炸風(fēng)險(xiǎn)。
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水冷機(jī)（選配） | · 可選購(gòu)水冷機(jī)降低法蘭總成溫度，避免高溫密封硅膠圈融化。
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改造單管爐(選配） | · 可通過(guò)訂購(gòu)額外的密封法蘭并將其安裝到內(nèi)管上，從而形成單管反應(yīng)室： · 法蘭兩端分別有1/4''直通接頭供客戶插入測(cè)量傳感器（例如用于溫度校準(zhǔn)的可插入熱電偶），帶有機(jī)械壓力表和KF25接頭。
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