| 設備名稱 | 滑動式三溫區管式爐PECVD系統 OTF-1200X-50-III-S-4CV-PE-SL |
||||||||||||||||||||||||||||
| 產品特點 | ·射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度； ·滑軌式可快速加熱和快速冷卻； ·三個加熱區，溫度梯度最大可達200℃ ·可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。 |
||||||||||||||||||||||||||||
| 加熱爐參數 | ·電源：電壓要求：AC 208-240V 單相, 50/60 Hz ·功率4.8KW ·最高溫度：1200℃（小于0.5小時） ·連續工作溫度：1100℃ ·加熱區長度：600mm，（三溫區：150mm+300mm+150mm) ·最大升溫速率: ≤ 20 °C/min（加熱元件壽命原因建議升溫速率） ·爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。
|
||||||||||||||||||||||||||||
| 溫控系統 | ·包含一款858P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達±0.1℃） ·PID自動控溫系統 ·智能化50段可編程控制 ·控溫精度：±1℃ ·默認DB9 PC通信連接端口 ·RS485通訊接口 ·PC控制軟件：可選購PC控溫軟件，可用電腦控制爐體和記錄數據
|
||||||||||||||||||||||||||||
| 射頻電源 |
|
||||||||||||||||||||||||||||
| 真空系統 | ·采用TRP-12的雙旋真空泵； ·KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ·真空度可達10-2Torr。
·搭配TRP-12的雙旋真空泵（抽速3L/s）（總進氣量小于150sccm，該泵可以達到等離子發生真空度） ·搭配TRP-60雙旋真空泵（抽速10L/s）（總進氣量1L/min，該泵可以達到等離子發生真空度） |
||||||||||||||||||||||||||||
| 供氣系統 | ·四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%） ·流量范圍： 一路0-100 sccm 二路0-200 sccm 三路0-200 sccm 四路0-500 sccm ·電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ·氣體進出口配件：6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管； ·不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ·PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置 注：接入供氣系統的氣源需搭配減壓閥，將氣壓降至2mpa以下
|
||||||||||||||||||||||||||||
| 產品尺寸和重量 | ·設備總體尺寸：2500X750X1510mm(長寬高） ·凈重：310kg
|
||||||||||||||||||||||||||||
| 注意 | 注意事項：采用氬氣高于射頻功率200w情況下，需特殊說明，設備需要特殊改造及測試，（有法蘭過熱情況） |
注意事項：采用氬氣高于射頻功率200w情況下，需特殊說明，設備需要特殊改造及測試，（有法蘭過熱情況）
![23453[1].png](/UserFiles/upload/image/20220319/6378329679268086057652447.png "23453[1].png")
合肥科晶品牌紀錄片 公司環境
查看誠信檔案
皖公網安備 34012302000974號
