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1600℃Mist/LPCVD系統(tǒng)（216mm石英腔室）
關鍵字：
6" 基片 1600℃Max、高頻感應、分散噴頭、自動/手動模式
型號：
MIST-1600-6（內部名稱：高溫LPCVD系統(tǒng) SP-φ152）
產品概述：
高溫MIST /LPCVD系統(tǒng) 由高頻感應加熱設備，密封石英腔室、分散噴頭、氣液混合罐以及石墨加熱臺組成，系統(tǒng)加熱可自動模式和手動模式。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
設備名稱

高溫MIST /LPCVD系統(tǒng) MIST-1600-6
高頻加熱設備

· 感應電源型號：SPG-50K-15AB

· 輸入電壓：三相380±20% 50/60Hz  

· 輸入功率：15KW

· 輸出電流：7-70A

· 震蕩頻率：30-100KHZ

· 保護系統(tǒng)：帶有水壓、過熱、功率過高保護

· 加熱系統(tǒng)尺寸：線圈內徑Φ220mm，高度70mm,采用Φ8水冷銅管繞制，圈數4圈

· 冷卻水要求：水壓≥0.2Mpa  水流量≥6L/min

          溫度設定為30℃。


 SPG-50K-15AB1111.jpg
石英腔室

· 石英爐管：Φ8.5”*500mm

· 石墨樣品臺：內徑φ155mm（可放置6英寸基片）

· 保溫材料：石墨氈

  圖片2.png 石墨樣品臺.jpg石墨氈.JPG
密封法蘭和接口

上端法蘭：

· 一個φ6.35mm的卡套接頭作為進氣口使用

· 一個不銹鋼截止閥控制進氣；

· KF-16的接口連接一個數顯防腐真空計；

· 一個φ6.35mm的卡套接頭作為出氣口使用

· 一個不銹鋼球閥控制出氣；

· 一個φ6.35mm的卡套接頭作為氣液混合氣的進氣口；

· 帶安全泄壓閥：當氣壓超過0.02MPa時會自動放氣

· 帶觀察窗口：可觀察內部的情況，尺寸φ35mm          

下端法蘭：

· 一個φ6.35mm的鎧裝熱電偶接口，熱電偶可直接插入到石墨樣品臺底部

· 一個KF-25抽真空接口   

  _2021120116112813.jpg
控溫模式

溫控系統(tǒng)：

· 50段智能控溫儀，可設置50段升降溫程序

· PID方式調節(jié)溫度

· 帶有溫度上限報警，超過上限溫度會切斷加熱開關，停止加熱

· 控溫精度:±1度

· 熱電偶：C型 長度400mm

工作溫度：

· 最高溫度： 1600℃＜1h，1500℃長期使用

· 推薦升溫速率：≤2℃/S
可加熱氣液混合系統(tǒng)

· 氣液混合罐材料：316不銹鋼

· 容積：100ml

· 壓力表范圍——-0.1-0.15MPa

· 一個φ6.35mm的卡套接頭作為進氣口使用，一個不銹鋼截止閥控制進氣；

· 一個φ6.35mm的卡套接頭作為出氣口使用，一個不銹鋼截止閥控制出氣

   加熱部分：

· 出氣管道纏繞加熱帶最高溫度可達150度，采用K型熱電偶測溫，由獨立的溫控系統(tǒng)進行控溫

· 混合罐外面套有加熱環(huán)，最高溫度可達150度，采用K型熱電偶測溫，由獨立的溫控系統(tǒng)進行控溫

  _2021120116112814.jpg
氣體/蒸汽分散噴頭

· 材料：氮化硼或石墨

圖片3.png 圖片4.png

· 噴頭直徑：φ4”，噴孔直徑φ0.5mm

· 氣液混合罐的出氣口連接到噴頭的進氣口，采用不銹鋼進行連接，管道外采用了加熱帶進行加熱

  01.png   
數顯防腐真空計

· 型號：3PC3-011-1100（PCG554）

· 測量范圍：800torr到1*10-5torr

· 電源：DC24V ，配有220V轉24V的電源適配器

圖片7.png
水冷設備（選配

· 型號：CW-6200

· 輸入電壓：220-240V  50HZ

· 輸入電流：2.3-13A

· 最大功率：2.3KW

· 水箱容量：15L

圖片8.png
真空系統(tǒng)(選配）

· 型號：無油真空泵 GSP-3

· 電源：AC220V/50Hz

· 功率：0.4KW

· 極限真空度：8.0*10-1Pa（無負載）

· 抽氣速率：3L/s

· 抽氣口：KF25接口

· 轉聲：1800rpm

圖片9.png
供氣系統(tǒng)（選配）

· 型號：GSL-3Z-LCD

· 電源：AC220V/50Hz

· 功率：500W

· 質量流量控制器量程：100.200.500（量程可選，氣體可選）

· 三路進氣一路出氣（進氣出氣方式可選）

· 機械壓力表：-0.1-0.15MPa

· 連接管道；直徑φ6.35mm的316材質的不銹鋼管

· 觸摸屏界面：方便操作

圖片10.png
氣體探測器（選配）

· 可選配氫氣探測器在此系統(tǒng)中，可以實時監(jiān)測設備氫氣的泄漏情況；

· 氫氣監(jiān)測范圍：1-1000ppm

· 工作溫度：-20℃——60℃

· 報警點設置：氫氣報警器設置有兩個報警，第一級的報警點50ppm，一旦探測到氫氣濃度達到此值時，氫氣報警器將發(fā)出蜂鳴報警聲，

   提醒客戶檢查漏氣點。第二級的報警點為100ppm，一旦探測到氫氣濃度到達此值時，系統(tǒng)自動關閉氫氣進氣閥。

圖片11.png
外形尺寸

700長*1300寬*1600mm高

尺寸圖.jpg
重量

約100KG
保質期

1年（不包含爐管、O型圈、加熱元件等損耗件）

使用注意事項

· 腔室內的氣壓不可高于0.02MPa；


· 氣瓶上必須安裝減壓閥；


· 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，

則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開出氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）


· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關

防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。



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