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供氣系統
關鍵字:
三通道
型號:
GSL-3Z-LCD-S
產品概述:
GSL-3Z-LCD-S是一款小型的三通道質子流量計混合系統。PLC觸摸屏控制各通道氣路流量,并可實時查看流量數據及曲線。可與本公司各種管式爐CVD/PECVD、鍍膜儀等設備配套使用,實現PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實驗氣氛的精準控制。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
產品名稱型號

供氣系統 GSL-3Z-LCD-S


產品特點

· 適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其方便多種氣體的切換使用,而不會造成大氣進入加熱管。

· 氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便。

· 采用觸摸屏來控制氣體的流量,顯示流量準確,方便操作。

· 所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸。


基本參數

· 電源:AC 220V 50/60HZ

· 功率:30W

· 標準流量量程:一路:1-100 sccm

           二路:1-200 sccm

三路:1-500 sccm

(其他流量范圍可定制,訂貨前請與公司銷售部聯系)

· 系統最大耐壓:0.15 MPa

· 精度:±1.5%F.S

· 重復精度:±0.2%F.S


PLC觸摸屏

· 各通道的氣路設定和查看都集中的6″的觸摸屏上

圖片1.png  圖片2.png


 


機械壓力表與混氣罐

· 有一機械壓力表安裝在前面板上,與混氣罐相連接

· 壓力表量程:-0.1~0.15MPa

· 混氣罐尺寸:直徑φ64*長度120mm


通氣管道與截止閥

· 設備背面設有四個φ6.35的卡套接頭,三個為進氣口,一個為出氣口

· 內部連接管道為1/4″不銹鋼管

· 外部連接管道為1/4″四氟管連接氣瓶

· 四個不銹鋼雙卡套角式穿板截止閥安裝在設備前面板,控制氣體的通斷


產品尺寸

500mm*寬450mm*高210mm

圖片3.png


 


重量

13kg


保質期

1年(不包含損耗件),終身維護



注意事項

· 每只氣瓶最低必須保留0.5MPa的余壓。

· 減壓閥應采用調控范圍再0.020.25Mpa的專用氣體減壓閥

· 不得通氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體,否則容易損壞通氣管道,混氣罐等不銹鋼材質的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設備損壞公司售后維修會收取相應的費用。

· 流量計通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當于316L 不銹鋼) ,氟橡膠等為易腐蝕材料。通入的氣體應無水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蝕性氣體用戶應在定貨時聲明。

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題,本公司概不負責。


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