| 材質 | 304不銹鋼 |
| 結構 | ·外徑為152mm的通孔法蘭 ·25mm的通孔法蘭，16個無螺紋螺栓孔，螺栓孔直徑8.3mm。(請點擊圖1和圖2了解詳細信息) ·內徑19mm,外徑25mm的高真空接頭安裝在法蘭中間，用于安裝標準的濺射裝置（詳細信息請點擊圖3和圖4）
圖1 圖2 圖3 圖4 |
| 真空度 | 10 -6 torr（分子泵） |
| 使用方法 | ·將帶有內徑19mm管的濺射頭穿過CF法蘭上的高真空接頭； ·調整濺射頭在真空室中的高度； ·不需要特殊工具或焊接，快速擰緊連接就可以固定濺射裝置的位置； ·在10分鐘內，便可完成安裝。
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皖公網安備 34012302000974號
