| 結(jié)構(gòu) | ·主機(jī)殼體采用聚丙烯（PP）材質(zhì)，具有強(qiáng)抗腐蝕性 ·控制盒與主機(jī)分開，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制 ·配有一個(gè)過濾器，連接旋涂機(jī)和真空泵，防止廢液進(jìn)入到真空泵 ·設(shè)備中標(biāo)配一臺(tái)無油泵
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| 輸入電源 | ·220VAC, 50/60Hz, 單相, 1000W |
| 腔體&真空吸盤 | ·腔體直徑Φ160mm ·真空吸盤直徑Φ100mm，可直接固定Φ100-152mm基片（圖1） ·若基片直徑＜100mm,可購(gòu)買更小的真空吸盤（需額外費(fèi)用）（圖2） ·可用膠帶來固定不規(guī)則樣品（圖3）
圖1 圖2 圖3 |
| 真空泵 | ·配有一臺(tái)抽速為120L/min的無油真空泵，和直徑Φ8mm的真空管
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| 轉(zhuǎn)速 | ·控制盒上可設(shè)置6段程序，不同旋轉(zhuǎn)時(shí)間和轉(zhuǎn)速 ·最多可儲(chǔ)存12條程序，隨時(shí)調(diào)用 ·每段之間最大提速/減速為2000rpm ·最長(zhǎng)旋轉(zhuǎn)時(shí)間6*60s=360s ·轉(zhuǎn)速：500 - 6000 RPM（可設(shè)置） ·可達(dá)到10000rpm轉(zhuǎn)速（需要額外費(fèi)用） ·采用直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)，可在Ar環(huán)境下的手套箱內(nèi)使用 |
| 注液器 | ·標(biāo)配20ml塑料注液器（圖1） ·可選1:精密數(shù)顯電動(dòng)注液器20-200ul（圖2） ·可選2:加熱型玻璃注液器，最高溫度200℃（圖3）
圖1 圖2 圖3 |
| 可選 | ·加熱型上蓋，最高溫度120℃，可對(duì)樣品在旋涂過程中進(jìn)行干燥（圖1，圖2） ·真空型旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)（圖3） ·若旋涂機(jī)需要放入手套箱中，請(qǐng)?zhí)崆奥?lián)系我們，需要配一個(gè)KF40饋通，來連接旋涂機(jī)和控制盒（圖4，圖5）
圖1 圖2 圖3 圖4
圖5 |
| 產(chǎn)品尺寸 | 1.旋涂機(jī): 250mm(Φ) x 560mm(H) （開蓋） 2.旋涂機(jī): 250mm(Φ) x 560mm(H) （含注射器） 3.旋涂機(jī): 250mm(Φ) x 560mm(L) x 560mm(H) （開蓋，含注射器，側(cè)視圖） 4.控制盒: 380mm(L) x330mm(W) x150mm(H) 5.溫度控制器：230mm L x 260mm W x 120 mm H 6.真空泵: 290 L x 210 W x 213 H (mm）
·連接線和連接管: ·控制盒與旋涂機(jī)連接線: 1.5米 ·真空泵到控制盒連接線: 1.1 米 ·旋涂機(jī)與真空泵連接管: 6.37mm 內(nèi)徑x 8 mm 外徑x 1 m長(zhǎng) |
| 凈重 | ·25kg |
| 質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期，終身維護(hù) |
| 應(yīng)用注意事項(xiàng) | ·設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)必須放在通風(fēng)柜中，排除廢氣（圖1） ·薄膜的質(zhì)量根據(jù)漿料粘度，轉(zhuǎn)速和噴霧等參數(shù)，需要用戶自己探索比較好的工藝 ·不要用任何液體過度沖洗真空卡盤，否則液體會(huì)漏入到電機(jī)，損壞設(shè)備。可以用無紡布擦拭清理設(shè)備。 ·為了進(jìn)一步優(yōu)化涂布質(zhì)量，可用等離子體清洗極片后再涂布，可在本公司選購(gòu)等離子清洗機(jī)或等離子槍（圖2&3）
圖1 圖2 圖3 |
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