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桌面式紫外臭氧清洗機(自動開/關門,清洗面積300×300mm,可選加熱樣品)
型號:
PCE-33
產品概述:
PCE-33是一款桌面式紫外(UV)臭氧清洗機,自動開/關樣品門,可選加熱樣品臺,可用于清洗各種基片來達到比較好的涂膜/鍍膜效果,最大有效清洗面積300×300mm。此款設備特別適合移除基片上的光刻膠,改善潤濕性,清洗鈣鈦礦太陽能電池基片,SEM&TEM樣品,UV聚合物改性等。紫外臭氧清洗已被證明了是一種無酸性,干燥且無損傷地原子級別清洗手段,特別適合清除樣品表面的有機物。設備上所用紫外燈管主要發出2種波長的紫外光185nm和254nm,其中185nm紫外光可把空氣中的氧變為臭氧,254nm紫外光激活基片表面的有機物分子,兩者結合可有效清除基片表面有機物。
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產品特點

·清洗面積較大,大達300×300mm

·樣品倉門自動開關

·可移除基片表面各種污染物

·樣品臺可加熱,最高溫度150℃

·觸摸屏控制面板,可設置和現實各種參數


電源要求

·AC220V,50/60Hz

·總功率:950W


UV燈

·設備中包含一臺雙波長汞燈

·波長:253.7nm和184.9nm

·UV燈使用壽命:5000小時

·UV燈罩區域:300×350mm

·可清洗基片最大尺寸為12英寸,35mm厚度

·UV燈單獨包裝,防止運輸中損壞

·UV燈不在質保范圍內

圖片1.png

腔體&樣品臺

·不銹鋼殼體

·自動滑動抽屜樣品倉

·樣品臺面積380*390mm

·最大樣品厚度:40mm

·一個臭氧排除裝置安裝在腔體中

·時間設置范圍:0.01秒~99.9小時


加熱型樣品臺

·加熱臺最高溫度可達150℃,程序控溫

·可設置30段溫度段,控溫精度±2℃

·最大加熱速率:15℃/min

·樣品臺和UV燈關之間的距離可調節:20~40mm

·可選加熱溫度達到300℃,控溫精度±0.1mm


排氣口

·一個直徑為75mm的排氣口在設備后部

·配有3米的柔性排氣管道

圖片2.png

質保

·一年質保期,終身維護

·UV燈管不在質保范圍內


應用

·清洗Si基片,GaAs基片,石英和ITO玻璃

·清洗各種氧化物單晶片,如藍寶石,STO和LAO

·清洗Au和Pt基片

·輕金屬材料表面氧化

·活化聚合物材料

·UV去除光刻膠

·UV清洗LED顯示屏


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