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1200℃三溫區(qū)雙管CVD爐 （制備石墨烯薄膜）
- 關鍵字：
- 真空、電阻絲、開啟式
- 型號：
- OTF-1200X-III-D5- 4
- 產品概述：
- OTF-1200X-5-III-D4 是一款三溫區(qū)的雙管爐，其最高工作溫度可以達到1200℃，專門針對于用CVD方法在金屬箔上生長薄膜物質，如石墨烯、太陽能電池的電極材料和電池電極材料等。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
| 特征
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石英爐管: 外管直徑為 130 mm，內管直徑為101mm,使用時把金屬箔附在內管壁上 特殊的真空法蘭可以使反應氣體通過兩管之間冷卻氣體可以從內管通過，對基底進行快速冷卻 最高工作溫度: 1200°C（點擊圖片查看詳細資料）
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| 爐體結構
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| 爐膛
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內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 |
| 電源
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| 爐管
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| 爐體尺寸
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1030 x 430 x 580 mm |
| 凈重
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90 kg |
| 質保期
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一年質保期（不包含爐管，加熱元件和密封圈損耗件）
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| 使用注意事項
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爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
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