| 名稱型號 | ·1200℃五溫區液相外延法晶體生長爐（針對YIG薄膜，LPE法） VTF-1200X-LPE |
| 產品特點 | ·控制系統采用觸控一體機控制 ·采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統。 ·爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維，最大程度的減少能量損失。 ·該設備采用模塊化設計，分上中下三部分可以拆開運輸，方便進入實驗室和運輸。 ·電動升降樣品臺,便于客戶取放樣品和二次加料 ·多片式石英管堵，提高潔凈度 ·帶有石英的隔離內腔
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| 加熱爐系統 | ·電壓：三相 AC380 50/60Hz ·最高溫度: 1200℃ (<30min) ·加熱爐最大功率：17KW ·額定溫度: 1100℃ ·推薦升溫速率：≤10℃/min ·加熱區長度：五個溫區1000mm(5*200mm)，每個溫區獨立控制 ·控溫精度：±1℃ ·熱電偶：五根K型熱電偶 ·加熱元件：康泰爾電阻絲
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| 溫控系統 | ·采用觸摸屏+溫控器模式 ·包含一款歐陸EPC3000系列控制器 ·PID自動控溫系統 ·智能化24段可編程控制 ·默認DB9 PC通訊連接端口 ·控溫精度：±1℃ ·所有的電氣元件都通過UL或MET認可，并可通過世界范圍內的其他相關安全測試
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| 提拉機構 | ·采用伺服電機+諧波減速器來驅動籽晶桿上下移動 ·私服電機+高精度直線模組保證籽晶桿在移動過程中順滑 ·籽晶桿移動有慢速提拉和快速移動兩種模式 ·籽晶桿可移動范圍：750mm ·提拉速度范圍：0.02mm/hr--10mm/hr(可調，精度+/-1um) ·籽晶桿旋轉速度：1-60RPM ·籽晶桿裝到三抓夾頭上，三抓夾上方裝有彈簧可以調節籽晶桿旋轉時同心度
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| 觸摸屏控制 | ·觸摸屏控制面板可控制單晶提拉速度，籽晶桿旋轉速度和加熱爐的升溫曲線 ·觸摸屏控制面板可以控制樣品臺升降 ·具有溫度曲線保存功能，溫度曲線數據可以保存記錄和導出
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| 法蘭，管子，樣品臺 | ·爐膛內裝有一根外徑150*1175mmm石英管 ·石英管通過上下法蘭固定，不銹鋼法蘭為非密封的（注：法蘭主要作用是支撐石英管） ·爐膛上部通過石英管堵保溫，下部通過泡沫陶瓷管堵保溫 ·下法蘭裝有支撐桿和樣品臺 ·樣品臺可放置最大坩堝直徑100mm ·樣品臺和坩堝采用電動升降方式，方便取放樣 ·下法蘭和固定板之裝有四個彈簧，可以調節下法蘭水平
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| 產品尺寸 | ·外形尺寸：1020*1185*3420mm（長*寬*高） ·下部外形尺寸：1020*1185*800mm（長*寬*高） ·中部外形尺寸：1020*1185*1300mm（長*寬*高） ·上部外形尺寸：1020*1185*1320mm（長*寬*高）
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| 重量 | ·約290kg |
| 保質期 | ·1年（不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件） |
| 操作展示視頻 |
操作展示視頻 |
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皖公網安備 34012302000974號
